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Tétrafluorure de carbone CAS 75-73-0

Le tétrafluorure de carbone est le gaz de gravure de bougie plasma le plus largement utilisé dans l'industrie de la microélectronique. C'est un mélange de gaz de haute pureté et de gaz de tétrafluorure de carbone de haute pureté avec de l'oxygène de haute pureté....

Temps de sortie：2025-04-26

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Tétrafluorure de carbone CAS 75-73-0

Nom du produit: Tétrafluorure de carbone tétrafluorure de carbone gaz Tétrafluorométhane Perfluorocarbone

Qualité de produit: qualité analytique

Pureté du produit: 99.999%

Spécifications d'emballage: 40L

Nom chinois: 四 化化

Alias chinois: 四 甲

CAS: 75-73-0

EINECS: 200-896-5

Formule moléculaire: CF4

Poids moléculaire: 88

Propriétés physiques et chimiques:-Point de fusion: -184 ℃

Le tétrafluorure de carbone est le gaz de gravure de bougie plasma le plus largement utilisé dans l'industrie de la microélectronique. C'est un mélange de gaz de haute pureté et de tétrafluorure de carbone de haute pureté avec de l'oxygène de haute pureté.

1. Il peut être très utilisé dans la gravure de bougie du silicium, du dioxyde de silicium, du nitrure de silicium, du verre de silicium de phosphore et des matériaux de la couche mince de tungstène. Pour les systèmes de silicium et de dioxyde de silicium, lors de l'utilisation CF4-H2 gravure ionique réactive, en ajustant le rapport des deux gaz, une sélectivité de 45:1 peut être obtenue, ce qui est très utile lors de la gravure de films de dioxyde de silicium sur des grilles en polysilicium.

2. Il est également largement utilisé dans le nettoyage de surface des appareils électroniques, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température,

agent de détection de fuite, contrôle de l'attitude de la fusée spatiale et agent de décontamination dans la production de circuits imprimés.

3. En raison de sa stabilité chimique extrêmement forte, le CF4 peut également être utilisé dans les industries de la fusion des métaux et des matières plastiques.

4. Le tétrafluorure de carbone a une bonne solubilité en oxygène, il est donc utilisé par les scientifiques pour remplacer l'air comprimé ordinaire dans les expériences de plongée ultra-profonde. Il a été utilisé avec succès sur des souris et les souris peuvent encore s'échapper en toute sécurité à une profondeur de 275 à 366 mètres.

• Précédent: Tétrafluorure de carbone de catégorie électronique CF4 99.999%
• Prochain: Tétrafluorure de soufre SF4