Le tétrafluorure de carbone CF4 est une source de fluor et de fluorure de carbone en fluor et de radicaux libres, utilisé dans divers processus de gravure de la plaquette . tétrafluorure CF4 est combiné avec l'oxygène pour obtenir du polysilicon, le dioxyde carbon Cause de la suffocation dans les zones non ventilées . Dans un environnement plasma radiofréquence, les radicaux libres en fluor apparaissent sous la forme d'un trifluoride de carbone ou d'un tétrafluorure de carbone à haute pureté not conducive to various special controls (such as semiconductor anisotropy control) when they encounter air or oxygen. Its high-purity gas and the mixture of high-purity carbon tetrafluoride gas and high-purity cation oxygen can be widely used in candle etching of silicon, silicon dioxide, silicon nitride, phosphorus silicon glass and Matériaux en film mince en tungstène .
Le tétrafluorure de carbone CF4 a un effet anesthésique à des concentrations élevées . son gaz de haute pureté et son mélange avec de l'oxygène à haute pureté sont les gaz de gravure en plasma les plus utilisés dans l'industrie microélectronique et les médias isolants à faible teneur La stabilité est inerte pour de nombreux réactifs et n'hydrolyse pas à 1000 degrés ., il ne réagit pas avec le cuivre, le nickel et le tungstène à température ambiante . en raison de la stabilité chimique extrêmement forte de la liaison CF, perfluorocarbons représenté par CF4 peut être essentiellement non toxique .
Le tétrafluorométhane (CF4) a une stabilité élevée et est un gaz complètement non inflammable ., il ne réagit pas avec les acides, les alcalis et les oxydants à température ambiante, ne réagit pas avec des métaux de transition tels que Cu, Ni, W et Mo en dessous de 900 degrés, et ne réagit pas avec le carbon, l'hydrogène et le CH4 Les réactifs liquides d'ammoniac-sodium à température ambiante, et CF4 peut réagir avec les métaux alcalins, les métaux terrestres alcalins et le SiO2 à des températures élevées pour générer des fluorures correspondants . CF4 commence à se décomposer à 800 degrés et peut réagir avec CO et CO2 pour former COF2 sous l'action d'un arc électrique {{15} polymériser CF4 à des températures à arc en carbone pour synthétiser d'autres fluorocarbures .
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