Carbone tétrafluorure cas 75-73-0
Nom du produit: Tetrafluorure de carbone tétrafluorure de gaz tétrafluorométhane perfluorocarbone
Grade produit: note analytique
Pureté du produit: 99,999%
Spécifications d'emballage: 40L
Nom chinois: tétrafluorure de carbone
Alias chinois: tétrafluorométhane
Cas: 75-73-0
Einecs: 200-896-5
Formule moléculaire: CF4
Poids moléculaire: 88
Propriétés physiques et chimiques: - point de fusion: -184 degré
Le tétrafluorure de carbone est le gaz de gravure de bougie plasmatique le plus utilisé dans l'industrie de la microélectronique . C'est un mélange de gaz de haute pureté et de tétrafluorure de carbone de haute pureté avec de l'oxygène de haute pureté .
1. Il peut être largement utilisé dans la gravure des bougies du silicium, du dioxyde de silicium, du nitrure de silicium, du phosphore en verre de silicium et du dioxyde de silicium en tungstène . pour les systèmes de dioxyde de silicium et de silicium, en utilisant CF 4- h2 réactif ion réactif. La sélectivité de 45: 1 peut être obtenue, ce qui est très utile lors de la gravure des films de dioxyde de silicium sur les portes de polysilicon .
2. Il est également largement utilisé dans le nettoyage de surface électronique de l'appareil, la production de cellules solaires, la technologie laser, l'isolation en phase gazeuse, la réfrigération à basse température,
Agent de détection de fuite, contrôle de l'attitude de la fusée spatiale et agent de décontamination dans la production de circuit imprimé .
3. En raison de sa stabilité chimique extrêmement forte, CF4 peut également être utilisé dans les industries de la fusion métallique et du plastique .
4. Le tétrafluorure de carbone a une bonne solubilité en oxygène, il est donc utilisé par les scientifiques pour remplacer l'air comprimé ordinaire dans les expériences de plongée ultra-profonde . Il a été utilisé avec succès sur les souris, et les souris peuvent toujours s'échapper en toute sécurité à une profondeur de 275 à 366 mètres .
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